ATL Lasertechnik GmbH была основана в 1993 году и сделала прорыв в технологии ультрафиолетового излучения в 1994 году, разработав первый в мире компактный, высокочастотный эксимерный лазер с коротким импульсом. ATL продолжает разрабатывать компактные короткоимпульсные эксимерные лазеры и остается лидером в этой области.